회사/산업 · 삼성전자 / 공정기술

Q. High NA EUV 양산

ssemicom

안녕하세요, 현재 EUV 한계를 극복하고자 차세대 High NA EUV가 개발중이라는 것을 알게 되었습니다. 이 장비는 현재 파운드리에 도입되었는데 훗날에 기술개발이 이루어 지면 메모리에서도 사용해 HBM 양산에 적용이 될지 궁금합니다. 감사합니다.


2026.03.09

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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